MTI  |  SKU: VTC300USS

Verniciatrice a ultrasuoni Spin-Spray (300-3000 giri/min, max 12" Wafer) - VTC-300USS

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Lampada termica per il riscaldamento del substrato

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Verniciatrice a ultrasuoni Spin-Spray (300-3000 giri/min, max 12" Wafer) - VTC-300USS

MTI

Il VTC-300USS è un sistema economico di spruzzatrice Spin-Spray a ultrasuoni per un processo di rivestimento ultra-uniforme in fase liquida su un substrato di grandi dimensioni fino a 12".. Il sistema Il sistema è composto da (1) una torre di verniciatura a rotazione da 12 pollici con mandrino a vuoto, (2) un ugello di spruzzatura a ultrasuoni assistito da aria compressa montato su un braccio oscillante, (3) una pompa a siringa riscaldabile e (4) un sistema di lampade termiche per il riscaldamento del substrato. Può anche essere considerato un sistema CVD a nebbia d'atmosfera.

SPECIFICHE:

Caratteristiche
  • Combina i vantaggi della centrifuga e dello spruzzo, consentendo un rivestimento denso e uniforme in fase liquida su un substrato di grandi dimensioni
  • Le applicazioni comprendono la precipitazione a bassa temperatura (ad esempio, per la deposizione di ferriti a RF/microonde), il rivestimento di polimeri, il rivestimento di polveri e materiali compositi e il rivestimento su un substrato modellato/disomogeneo
  • Il sistema funziona anche in modalità spin alone e spray alone
Rivestitore Spin
  • Vuoto mandrino con porta-substrati regolabili per il mantenimento di substrati piatti fino a 12" di diametro o 8" quadrati
  • Una pompa oil-less per il mandrino a vuoto è inclusa e controllata dalla macchina di verniciatura a rotazione
  • Velocità di rotazione: 300 - 3000 giri/min. regolabile
  • Per motivi di sicurezza, si raccomanda di limitare la velocità a 2000 giri/min per wafer di dimensioni superiori a 8
                           
 Ugello di spruzzatura
  • Un generatore di ultrasuoni con due ugelli di spruzzatura con sagomatore ad aria compressa in dotazione
  • Sono inclusi due ugelli di spruzzatura con l'adattatore KF-25. (Fare clic sulla prima immagine da destra per vedere i dettagli)
    • Uno di tipo cilindrico -- spruzzo più stretto ~20 mm di diametro
    • Un tipo a cono -- spruzzo più ampio ~40 mm di diametro
  • Pressione dell'aria compressa raccomandata per la soluzione acquosa: ~2 psi
  • Un misuratore di portata è integrato per regolare e monitorare il flusso di aria compressa
  • Gamma di viscosità del fluido: 1 - 50 mPa-s (cP)
  • Un braccio oscillante per il montaggio della testa di spruzzo a ultrasuoni è integrato con velocità e campo di movimento regolabili
  • L'ugello di atomizzazione a gas compressivo a basso costo è disponibile su richiesta 
  •                     (ugello a gas opzionale)
Pompa a siringa riscaldabile
  • Una pompa a siringa riscaldabile con controllo LCD touch screen è è inclusa per erogare il liquido all'ugello a ultrasuoni
  • È inclusa una siringa da 20 mL per l'uso immediato. L'unità può contenere una siringa con diametro da 0,4 a 30 mm.
  • Velocità di pompaggio: 0,001 - 20 mm/min regolabile
  • Un riscaldatore flessibile in poliimmide con regolatore di temperatura programmabile a 30 segmenti è integrato per il riscaldamento fino a 75 °C
                       
Lampada di calore e controllo
  • Doppia lampada di calore (1000 W di potenza massima. Fino a 80 ºC) con termocoppia e termoregolatore possono essere ordinate a pagamento per il riscaldamento del substrato per irraggiamento (fino a 65 ºC). ºC con substrato metallico da 12") 
Opzionale
  • MTI suggerisce vivamente di posizionare la verniciatrice a spruzzo all'interno di una cappa di aspirazione per motivi di salute e sicurezza.. 
  • L'ugello di nebulizzazione a gas compressivo è disponibile per la certificazione NRTL (Fig. 2)
  • Su richiesta, è disponibile una testa di spruzzo Multi personalizzata (figura 3).
  •  PIC 1     Pic. 2       Figura 3 3
Requisiti di utilità
  • Alimentazione: 208 - 240 VCA, 50/60 Hz, 3000 W in totale
  • Gas: aria compressa a ~2 psi per l'ugello a ultrasuoni. Il compressore d'aria è disponibile su ordinazione presso MTI.
  • Attenzione: Se si utilizza una bombola di gas invece di un compressore d'aria (pic2), un regolatore di pressione a due stadi (pic1) deve essere installato sulla bombola di gas per limitare la pressione entro il campo di lavoro richiesto per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
           pic1   pic2
Peso netto
  • 160 libbre
Peso e dimensioni di spedizione
  1. 425 lbs, 48 "x40 "x42"
  2. 255 lbs, 48 "x40 "x40"
  3. 155 lbs, 48 "x40 "x35"
Conformità
  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL è disponibile solo con l'ugello di nebulizzazione a gas compressivo 
Garanzia
  • Un anno di garanzia limitata con assistenza a vita
  • La ruggine e i danni dovuti a condizioni di stoccaggio o manutenzione improprie non sono coperti da garanzia.
Manuale operativo e video
  •         
Note applicative
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