Horno CVD MIST 1200°C para crecimiento de cristales- OTF-1200X-Mist

Características

Horno

• Horno tubular divisible con temperatura máxima de trabajo de 1200oC
• Zona de calentamiento de 400 mm de longitud con zona de temperatura constante de 125 mm de longitud.
• Controlador de temperatura programable de 30 segmentos con +/- 1ºC precisión
• Potencia: 3KW, 220VAC ( +/- 10% monofásico 50/60Hz
• Haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones detalladas
• Nota: la temperatura de trabajo se puede actualizar a 1500oC por OTF-1500X-UL

Tubo de cuarzo y portamuestras

• Se incluye un tubo de procesamiento de cuarzo con bridas y el tamaño de OD 60 mm x ID 54 mm x L 1000 mm
• Se incluye un portamuestras de cuarzo, que puede contener 4 piezas de sustrato de 10x10x0,5 mm a 45 grados.
• Haga clic en la imagen de la izquierda para pedir repuestos

Generador de ultrasonidos Mis

• El generador de ultrasonidos de 1,7 Mhz se encuentra en un tanque hermético SS316. ( haga clic en Pic izquierda para especificaciones )
• 4 niveles de potencia de ultrasonidos son para ajustar la cantidad de niebla
• Tiempo de nebulización ajustable de 30 a 180 minutos
• Una bomba de jeringa de líquido está equipado para inyectar automáticamente que viene con una jeringa de plástico de 60 ml. El intervalo de velocidad de la bomba de inyección de líquido es de 0,004 ml/min a 70 ml/min.
• El generador de niebla se conecta a un horno tubular mediante un tubo de acero inoxidable de 1/4"

Sistema de suministro de gas MFC

• Se incluye una estación de mezcla y suministro de gas MFC de 4 canales (haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones).
• 2 canales de gases se llenan en el tanque de acero inoxidable como gas de transporte después de la mezcla
• otros 2 canales de gases se llenan en un horno de tubo como gas de dilución después de la mezcla
• Caudal MFC: 0 - 500 ml/ minuto ajustable
• Precisión de flujo del MFC: ±0,2%F.S
• Rango de presión de trabajo: 0,10,5 MPa

Bomba de vacío ( opcional )

• El puerto de vacío KF 25 está instalado en la brida del tubo de procesado con una válvula para conectarse a una bomba de vacío.
• Se recomienda encarecidamente utilizar una bomba seca para prolongar la vida útil del Mist CVD.
• Haga clic en la imagen de la izquierda para pedir una bomba si la necesita.

Panel de control

• Panel de control con pantalla táctil para ajustar los parámetros de funcionamiento, incluyendo
• Programa y curva de temperatura
• Caudal de gas en 4 canales
• Nivel y tiempo de generación de niebla
• Puerto RS 485 y software de operación para PC disponibles bajo pedido