300 nmPelícula de nitruro de silicio (LPCVD) sobre Si(100), tipo N, dopada con P, 100 mm de diámetro x 0,525 mm de espesor, 1sp,R:1-20 ohm.cm - FmSi3N4onSiPa100D0525C1FT300

Película de nitruro de silicio

• Película de Si3N4 recubierta por el método LPCVD de baja tensión
  
• Si3N4 Espesor 300 nm +/- 10%
• Si3N4 cubre ambas caras de la oblea de silicio
  
• Índice de refracción de Si3N4: 1,95 - 2,05

Especificaciones de la oblea de silicio:

• Tipo conductor: Si tipo N, dopado con P
  
• Resistividad: 1-20 ohm-cm
• Tamaño: 4" de diámetro +/- 0,5 mm x 0,525 +/- 0,025 mm de grosor
• Orientación: (100) +/- 0,^5o
• Pulido: Pulido por una cara
• Rugosidad de la superficie: Prime
• Embalaje: Envasado al vacío en una caja de transporte de obleas individuales de 4
• Opcional: puede necesitar la herramienta de abajo para manejar la oblea ( haga clic en la imagen para pedir )

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