MTI  |  SKU: OTF1200XIIIR5-PECVD

Horno tubular rotativo de 5" con alimentación y recepción para PE-CVD en polvo y limpieza - OTF-1200X-III-R5-PECVD

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Horno tubular rotativo de 5" con alimentación y recepción para PE-CVD en polvo y limpieza - OTF-1200X-III-R5-PECVD

MTI

OTF-1200X-III-R5-PECVD es un sistema de deposición química en fase vapor mejorada por plasma (R-PE-CVD) giratorio de tres zonas a1200ºC, diseñado para el recubrimiento de superficies de polvo con el fin de formar partículas con estructura de concha central a una temperatura relativamente baja, también puede utilizarse para la limpieza de superficies de polvo. La temperatura, la potencia del plasma y el gas MFC de 4 canales se controlan mediante un panel de pantalla táctil y un ordenador portátil para facilitar el funcionamiento.

ESPECIFICACIONES:

Estructura del sistema
  • El bastidor de inclinación ajustable 0~25° facilita la carga/descarga carga/descarga del polvo
  • La fuente de alimentación de RF de 300 W (13,56 MHz) integrada con una red de adaptación permite el procesamiento mejorado por plasma, lo que reduce significativamente la necesidad de un proceso a alta temperatura.
  • La rotación del tubo accionada por engranajes permite "mezclar" los polvos de procesamiento para lograr la mejor uniformidad de procesamiento
  • Las estaciones de mezcla de gas de cuatro canales con MFC proporcionan un control preciso del suministro de gas
  • Se incluyen un alimentador y un receptor de polvo herméticos para el procesamiento continuo de recubrimiento en polvo de hasta 1000 g.

Horno rotativo de tres zonas
  • Temperatura de trabajo: 1200ºC Max(<1hrs)., y 1100ºC para calentamiento continuo
  • Tres controladores digitales de temperatura con 30 segmentos programables y +/-0,1 oC de precisión.
  • Potencia de entrada: 208 - 240VAC, una sola fase a max. 4,0 KW.
  • La cubierta dividida permite un enfriamiento más rápido y un fácil manejo
  • Tres zonas de calentamiento: 6"+ 12"+ 6", total 24" ( 609 mm)
  • Zona de temperatura constante: 480 mm de longitud +/-2ºC
  • El motor de CC de engranajes acciona el tubo de cuarzo con velocidad variable de 2 a 10 RPM
Fuente de alimentación de plasma RF
  • Potencia de salida: 5 -300 W ajustable con ± 1% de estabilidad.
  • Frecuencia RF: 13,56 MHz ±0,005% de estabilidad.
  • Potencia de reflexión: 100 W máx.
  • Adaptación: automática
  • Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra
  • Ruido: <50 dB.
  • Refrigeración: Refrigeración por aire.
  • Alimentación: 208-240 VCA, monofásica, 50/60 Hz.
Tubo de cuarzo
    • Se incluye un tubo de procesamiento de cuarzo fundido de 5'' de diámetro exterior especialmente diseñado.
    • Haga clic en la siguiente imagen para ver las dimensiones
    Bridas de sellado
    • Un par de bridas de desconexión rápida de 1'' de diámetro exterior con puerto KF25 se instalan en cada extremo del tubo
    • Se utiliza un acoplamiento giratorio magnético de sellado de fluidos para permitir la rotación del tubo sin torcer la línea de fuego o los accesorios aguas abajo (como líneas de suministro de gas, polvo y electricidad)
    Juego de bridas izquierdo Juego Brida Derecha
    Velocidad de rotación del tubo
    • 0 - 5 RPM variable
    Ángulo de inclinación del horno
    • 0~25°
    Bomba de Vacío y Manómetro
    • EQ-FYP de alto rendimiento de doble etapa de la bomba de vacío se incluye en la venta, por favor haga clic en la imagen en el a la izquierda para ver las especificaciones detalladas.
    • El adaptador KF25y el fuelle de acero inoxidable se conectan entre la bomba y la brida del tubo
    • Se puede alcanzar un vacío de 10E-2 Torr dentro del tubo de procesamiento
    • Nota: Vacuómetro está disponible a un costo adicional, por favor haga clic en subrayado y para ordenar


    Estación de mezcla de gases MFC
    • Cuatro caudalímetros másicos de precisión (0,02% de exactitud) con pantallas digitales están instalados en la carcasa inferior para controlar automáticamente el caudal de gas.
      • MFC 1: Rango de caudal de gas de 0~100 SCCM
      • MFC 2&3: Rango de control de 0~200 SCCM
      • MFC 4: Rango de control de 0~500 SCCM
    • Accesorios de entrada/salida de gas: Racor de 6 mm de diámetro exterior
    • Alimentación: 208-240VAC 50/60Hz
    • Válvulas de aguja de acero inoxidable para el control manual ON/OFF del suministro de gas.
    • La gran pantalla táctil de control PLC permite ajustar fácilmente el caudal
    Alimentador volumétrico y depósito colector

    Foto 1 Foto 2
    • El alimentador automático EQ-PF-1S incluye un agitador accionado por motor y una tolva de acero inoxidable con vibrador incorporado. Está diseñado parar la alimentación de polvo sólido en un horno para la cocción continua / tratamiento térmico con velocidad de alimentación ajustable 0 - 97 ml / minuto. Haga clic en la imagen 1 de la izquierda
    • El depósito de recogida de acero inoxidable (capacidad de 2 litros) puede instalarse en el otro extremo del tubo de procesamiento para recoger el polvo cocido sin exponerlo al aire. Haga clic en la imagen 2 de la izquierda para ver los detalles.
    Dimensiones y peso
    • Horno: 2800mm L x 800mm A x 1700mm H (con la tapa abierta); Estación de mezcla de gases: 600mm L x 850mm W x 700mm H; la medida es aproximada.
    • Peso neto: 400 Lbs.
    • Peso de envío: 500 lbs.
    Garantía
    Garantía limitada de un año con soporte de por vida (las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, por favor pida repuestos en los productos relacionados más abajo).
    Ordenador portátil, software de control (opcional)
    • Ordenador portátil nuevo con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) para uso inmediato.
    • El software integrará control de temperatura, control de gas MFC y control de Plasma para operación remota.
    Cumplimiento
    • Certificado CE
    • Certificación NRTL(UL61010) o CSA disponible con coste adicional.

    Notas de aplicación
    Haga clic aquí para saber cómo instalar un regulador de gas.
    • Los hornos tubulares están diseñados para su uso en vacío y baja presión < 0,02 Mpa
    • Nunca caliente el horno mientras la válvula de escape de gas esté cerrada y exista una condición de presión positiva dentro de la cámara del horno. El manómetro debe utilizarse para controlar de cerca el estado de la cámara en todo momento durante el proceso de calentamiento; por favor, abra la válvula de escape de gas inmediatamente una vez que la presión de la cámara haya alcanzado más de 3 PSI para evitar daños imprevisibles.

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