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MTI  |  SKU: OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

Horno CSS y RTP de 950°C máx. con soporte giratorio para oblea de 12" - OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

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Horno CSS y RTP de 950°C máx. con soporte giratorio para oblea de 12" - OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

MTI

OTF-1200X-RTP-II-5-R es un horno avanzado de procesamiento térmico rápido (RTP), que está diseñado para CSS (Close Spaced Sublimation) recubrimiento de película de hasta 12 "oblea a la temperatura de trabajo de 950 ° C Max. El horno se calienta mediante dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con un máximo de 20ºC/s. El portamuestras superior es giratorio para conseguir un recubrimiento uniforme. Es una herramienta excelente para la investigación de películas finas de nueva generación para células solares, tales como CdTe, Sulfuro y Perovskita, y también puede utilizarse para el recocido de obleas semiconductoras de 12".

ESPECIFICACIONES:
Estructura del horno

  • La cámara de vacío (diámetro interior de 20") está fabricada en Acero inoxidable para alcanzar 10-5 torr mediante turbobomba
  • Dos 12" están situadas en la parte superior del fondo de la cámara.
  • El portamuestras superior puede girar a una velocidad de 1 - 10 RPM para una deposición uniforme de la película.
  • La temperatura máxima de trabajo es de 950ºC y la velocidad de calentamiento puede alcanzar 1200oC/minuto como máximo.
  • Controlador de temperatura de precisión Eurotherm con una precisión de +/- 0,1oC
  • Control por ordenador con pantalla táctil de todos los parámetros de procesamiento
Alimentación
  • 208 - 240 V CA, trifásica, 50/60 Hz ( 380 V CA trifásica disponible )
  • 60 KW máx. ( se necesita un disyuntor de 200A )
  • Se incluye un cable de alimentación, pero no un enchufe
Cámara de vacío
  • Dimensiones de la cámara: ID 500mm x H 460mm
  • Incorpora dos ventanas de cuarzo de 60 mm de diámetro para facilitar la observación.
  • Se ha incorporado un deflector deslizante hermético para bloquear la fuente de evaporación en condiciones de alto vacío.
  • El paquete estándar incluye un vacuómetro digital de precisión anticorrosión (fig. 1).
  • Nivel de vacío: 10-5 torr por turbobomba (fig. 2) o 10-2 torr por bomba mecánica (fig. 3) Haga clic en la fig. 2 o 3 para elegir la bomba de vacío con coste adicional.
  • Foto 1 Foto 2 Foto 3
Calentadory portamuestras
  • Dos calentadores IR están situados en la parte superior e inferior de la cámara con separaciones ajustables de 2 - 25 mm. (Fig. 1
  • Los calentadores son de acero inoxidable con una camisa de agua fría para mantener el aislamiento térmico.
  • El soporte circular para obleas de 12 " de diámetro está integrado en el calentador superior para sujetar el sustrato.
  • Las placas de grafito se colocan en la parte superior del calentador IR para hacer el calentamiento más uniforme (Pic. 2)
  • El portamuestras superior puede girar a una velocidad ajustable de 1 - 10 RPM
  • Se incluye un enfriador de agua circulante de 58 L/min para refrigerar los calentadores (fig. 3).
  • Fig. 1 Foto 2Foto. 3
Sistema de control
  • Dos controladores digitales de temperatura Eurotherm 3000 con 24 segmentos programables ofrecen un control independiente de los calentadores superior e inferior con una precisión de +/- 0,1ºC
  • Todas las operaciones, como los perfiles de temperatura, la presión de vacío, la velocidad de giro, la velocidad de rotación y la elevación de la brida se controlan mediante un ordenador con pantalla táctil a través de un PLC.
  • El ordenador puede mostrar los perfiles de temperatura y vacío y poner en marcha 10 programas preestablecidos de procesamiento


Temperatura de trabajo
  • Temperatura máxima para cada calentador: ? 950ºC.
  • Máxima diferencia de temperatura entre los dos calentadores: ? 300ºC
  • Máx. Calentamiento: < 8ºC/s ( calentando sólo un calentador )
  • Máx. Enfriamiento: < 20 ºC/s (600 - 100ºC) Máx.
Velocidad de calentamiento y enfriamiento
  • Calentamiento: < 8ºC/s ( calentando sólo un calentador )
  • Enfriamiento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Máx.
Dimensiones

( haga clic en la imagen para ver las dimensiones ) 		L 1450 X W 1250 X H2100 mm Peso: ~500 Kg




Opcional
  • Si utiliza gas corrosivo, utilice una trampa fría o una bomba seca anticorrosiva como en las imágenes 1-2 con coste adicional.
  • Puede elegir un sistema de suministro de gas MFC digital haciendo clic en Pic. 3 abajo.
Foto. 1 Foto. 2 Foto 3
Garantía Limitada a un año con asistencia de por vida (la garantía no cubre las piezas consumibles, como los tubos de cuarzo y las lámparas calefactoras).
Conformidad
  • Certificado CE
  • Certificación UL / MET / CSA está disponible bajo petición, se aplicarán cargos adicionales.
>Instrucciones de uso
Referencias
(Haga clic a la derecha para ver los artículos relacionados)
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