| Panel de control | - Todos los parámetros de Vapor, ALD y Plasma son controlados por PLC a través de una pantalla táctil de 6".
- Por favor, haga clic en la imagen de abajo para ver el control inter face
 |
Válvula ALD
 | - Dos válvulas ALD con controlador de impulsos (duración mínima de 10 ms)
- Panel de control con pantalla táctil de 6
|
Generador de vapor líquido
 | - Generador automático de vapor líquido incluido y conectado a la válvula ALD
|
Horno de tubo dividido de doble zona
| - Máximo 1100ºCpara calentamiento continuo
- Dos reguladores digitales de temperatura de precisión programables con 30 segmentos.
- Dos zonas de calefacción controladas por separado
- 200mm de longitud para cada zona de calefacción
- 400 mm de longitud total de calefacción
- 250mm de zona de calentamiento a temperatura central constante si ambas zonas se calentaran a la misma temperatura
- 500ºC de diferencia de temperatura máxima entre dos zonas con bloques térmicos intermedios
- Potencia de entrada: entrada de 208 - 240 V CA, monofásica a máx. 4KW
|
Fuente de alimentación de plasma RF
 | - Potencia de salida: 5 -500W ajustable con ± 1% de estabilidad.
- Frecuencia RF: 13,56 MHz ±0,005% de estabilidad.
- Potencia de reflexión: 200 W máx.
- Adaptación: Automática
- Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra
- Ruido: <50 dB.
- Refrigeración: Refrigeración por aire.
- Alimentación: 208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
|
Horno de precalentamiento
| - Horno tubular pequeño con zona de calentamiento única de 200 mm de longitud
- Temperatura máx: 1100ºC
- Control de temperatura programable en 30 segmentos
- El vapor pasa primero por el calentador antes de entrar en el generador de plasma RF.
- Puede introducir material sólido en el calentador para que se evapore y se mezcle con la fase de vapor.
- Tubo de cuarzo: 50mm OD x 44mm ID x 2200 mm L ( tubo de 80mm OD disponible a un costo extra) coste adicional
- Brida de vacío: incluida
  |
Manómetro anticorrosivo
| - Rango de medición de 3,8x10-5 a 1125 Torr
- Anticorrosivo, independiente del tipo de gas
- Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera para una detección fiable de la presión atmosférica
- La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo del proceso
- Elemento sensor plug & play fácil de cambiar
- Haga clic en la imagen para ver las especificaciones detalladas.
|
| Válvulas y estación de bombeo de vacío sin aceite | |
|
Mecanismo de deslizamiento
| - Carril deslizante y tornillo están incorporados en el horno inferior, que puede moverse de un lado a otro como un programa para lograr un calentamiento o enfriamiento más rápido.
- La velocidad de deslizamiento es ajustable de 0-70 mm/s
|
Velocidades de calentamiento y enfriamiento
 | -
El puerto RS485 y el software están instalados y permiten el control remoto del perfil de temperatura por PC (no incluido, el cliente puede pedir uno desde aquí) -
Para alcanzar la velocidad máxima de calentamiento, el usuario debe precalentar el horno a la temperatura deseada y, a continuación, deslizar el horno hasta la zona de muestra del tubo.
-
Para alcanzar la máxima velocidad de enfriamiento, empuje el horno calentado de la zona caliente a la zona fría. Velocidad de calentamiento: 15°C/seg (RT - 150°C); 10°C/seg (150°C - 250°C); 7°C/seg (250°C - 350°C); 4°C/seg (350°C - 500°C); 3°C/seg(350°C - 550°C); 2°C/seg (550°C - 650°C);
1°C/seg (650°C - 800°C);
0,5°C/seg (800°C - 1000°C); | Velocidad de enfriamiento: 15°C/seg (1000 - 950°C); 10°C/seg (950°C - 900°C); 7°C/seg (900°C - 850°C); 4°C/seg (850°C - 750°C); 2°C/seg (750°C - 600°C);
1,5°C/seg (600°C - 500°C);
1°C/seg (500°C - 400°C);
0,5°C/seg (400°C - 300°C); | |
Opcional
| - Dos - Cuatro caudalímetros másicos de precisión (0,02% de exactitud) con pantallas digitales están disponibles como opciones, que pueden sustituir a la caja inferior para controlar el caudal de gas automáticamente con el sistema. Haga clic en la imagen de abajo a la izquierda para elegir uno que se ajuste a su presupuesto.
- Haga clic en la imagen de abajo a la izquierda para pedir un burbujeador o evaporador para CVD, y abajo a la derecha para pedir Módulo de control de temperatura constante
|
|
Dimensiones generales
| |
| Garantía
| |
