Película de grafeno sobre Ni/SiO2/Si de 100 mm de diámetro,
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Película de grafeno sobre Ni/SiO2/Si de 100 mm de diámetro,
MTI
Las películas de Graphene™ se cultivan directamente sobre un depositadas sobre una oblea de silicio oxidado mediante un proceso de CVD.
Especificaciones: Grado de investigación, alrededor del 90 % de área útil
- Tamaño de la oblea: 100 mm de diámetro
- Método de crecimiento:Técnica de deposición química de vapor (CVD)
- Grosor de la película: 1-10 monocapas de grosor
- La película de grafeno es multicapa con un grosor que varía entre 1 y 10 capas;
- Las capas de grafeno están alineadas entre sí (apilamiento A-B tipo grafito), como indica el espectro Raman.
- El grafeno se cultiva sobre una película de Ni mediante un proceso de CVD.
- La película de níquel se deposita sobre el sustrato y se cubre con una capa de óxido cultivada térmicamente.
- El espesor de la capa de Ni es de 400 nm;
- El grosor de la capa de óxido de silicio es de 500 nm;
- El grosor de la oblea es de 500 ?m
- La orientación cristalográfica del silicio es 100;
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- Las películas son continuas con baja densidad de defectos.
- Película de carbono atómicamente fina ( capa 1-10 )
- Propiedades electrónicas excepcionales
- Inercia y estabilidad químicas
- Resistencia mecánica sin precedentes
| Estructura de la película de grafeno: tres películas El espesor de la película de grafeno varía entre 1 y 10 capas de carbono. | Imagen de microestructura óptica | Espectro Ramam |
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