Magnetrón DC de alta potencia con etapa rotatoria y enfriador de agua - VTC-16-SM

VTC-16-SM es una unidad de recubrimiento por pulverización catódica de plasma de magnetrón de sobremesa de alta potencia con cabezal de objetivo de 2" refrigerado por agua, enfriador de agua y portamuestras giratorio. La unidad de recubrimiento está diseñada para el recubrimiento de todas las películas metálicas de hasta 4" de diámetro, incluyendo Zn, Al, Ti y películas ligeras de carbono a un coste asequible. Se incluye un blanco de Cu para uso inmediato.
(Desde el 14 de mayo de 2021, este producto cambió su color a azul )

ESPECIFICACIONES

Voltaje de entrada	220 VAC 50/60Hz La alimentación de 110 V está disponible utilizando un transformador de 1000 W (fusible de 15 A). El transformador se vende por separado.
Potencia de salida	1600 V CC 250 W 150 mA máx. Protección de sobrecorriente integrada (>150 mA)
Cámara de muestras	Tubo de vidrio de cuarzo, 165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm Altura Haga clic aquí para pedir el recambio de la cámara de cuarzo.
Cabezal de pulverización catódica y platina de muestras	Cabezal de sputtering de magnetrón flexible de 2" con refrigeración por agua incluido (Fig.1) Espesor del cátodo: hasta 1/4" para el cátodo no magnético; hasta 1/16" para el blanco magnético Una platina de muestra de acero inoxidable de 50 mm de diámetro giratoria de 0 a 5 RPM Un obturador de accionamiento manual para la protección del objeto. (Fig.2) El soporte del cabezal de sputtering está disponible para sostener el cabezal de sputtering mientras no está en funcionamiento. La distancia entre el cabezal del sputtering y la platina de la muestra es ajustable de 60 a 100 mm. Área de recubrimiento máx: 4" de diámetro máx. Un Aire Frío Recirculación de Agua Refrigerador 10 L/min Se incluye el flujo para refrigerar el cabezal de sputtering. (Fig.6) 1. 2. 3. 4. 5. 6.
Panel de control	Panel de control con pantalla táctil en color de 6" con integración PLC para un manejo sencillo. Un panel para monitorizar y controlar todos los parámetros: vacío, corriente.
Última presión de vacío y Bomba de vacío (opcional)	Conexión de vacío KF25 integrada El sistema requiere un depósito de gas Ar con un regulador de presión. (no incluido) <1,0E-2 Torr mediante bomba de vacío de paletas (no incluida ) para blancos de Au, Ag, Pt, Cu, Mo (no sensibles al aire.Fig. 1-2) < 1.0E-5 Torr por bomba Turbomolecular (no incluida ) para blancos de Al, Mg, Li, Lr,, Zn (sensibles al aire. Fig. 3-4) El vacío más bajo puede alcanzar < 4.0E-6 Torr bombeando durante la noche y horneando (Fig. 3-4) Se puede pedir un generador de potencia RF para sputtering de no conductores o semiconductores, (Fig. 5) Foto 1 Foto 2 Foto. 3 Foto 4 Foto 5
Atmósfera gaseosa	Se instaló una válvula de aguja para permitir la entrada de gas Ar y conseguir un mejor recubrimiento por plasma El sistema requiere un tanque de gas Ar con el regulador de presión (no incluido)
Objetivo	Un blanco de cobre de cobre de 2" tamaño del blanco: 2" Dia.x 2.5mm. También puede recubrir Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mgetc. casi todo tipo de material metálico. Advertencia Aluminio, Cromo o Níquel Blanco pueden ser recubiertos por esta máquina, pero por favor, consulte el método de recubrimiento recomendada antes de usar. Por favor, utilice RF Plasma Magnetrón Sputtering para el recubrimiento de alúmina.
Monitor de espesor de película opcional	Monitor de espesor de película opcional con coste adicional (Haga clic en la Fig. 1 para ver los detalles. Consulte las Fig. 2,3,4 para ver la imagen) Etapa de muestra calentable hasta500°C disponible bajo pedido con coste adicional Caudalímetro para un control preciso de la entrada de gas disponible bajo pedido con coste adicional. 1. 2. 3. 4
Dimensiones generales	Haga clic en la imagen para ver los detalles
>Peso neto	20 kg
Peso y dimensiones de envío	160 kg 45" x 45" x 40"
Vídeo de funcionamiento
Conformidad	Aprobación CE La certificación NRTL NO está disponible temporalmente.
Garantía	Limitada a un año con asistencia de por vida
Notas de aplicación	Advertencia: El cabezal de pulverización catódica se conecta a ALTA tensión. El operador debe llevar guantes durante la operación Asegúrese de que el cátodo, el cabezal de pulverización catódica, el sustrato y la etapa de calentamiento están limpios antes del recubrimiento; utilice papel de lija y alcohol para limpiar y refrescar el cátodo de Al o Níquel cada vez que lo utilice.