Deposición química en fase vapor mejorada por plasma a alto vacío (tipo CCP) - VTC-PECVD

• Monofásica 208 - 240 VAC 50 / 60 Hz
• 4000 W

• Una fuente de alimentación de RF de 300 W y 13,56 MHz de frecuencia con acoplamiento automático.

Crecimiento PECVD

• Cabezal de ducha de doble capa de 100 mm de diámetro con fuente de RF para oblea de 4
  

• Dos controladores de flujo másico de precisión (MFC) para dos tipos de gas de trabajo
• Caudal 0 - 100 mL/min ajustable en la pantalla táctil panel de control
• Las válvulas de mariposa motorizadas permiten una presión de deposición de trabajo estable de 0,1 torrs a 1 torr
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Cámara de vacío

• Fabricada en acero inoxidable 304
• Dimensiones: Diámetro 300 mm × 300 m H
• Vacío final: 6E-7 torr
• Tiempo de bombeo <6E-6 torr tras 40 min de bombeo con turbobomba
• Velocidad de fuga: 3,8E-9 torr L/s
• Mirilla: Cristal de 100 mm de diámetro
• Puerta de bloqueo rápido de la carga para una carga y recuperación rápidas de las muestras.

Bomba de vacío

• Bomba turbo: 700 L/s Bomba turbo Pfeiffer
• Bomba de respaldo: 240 L/min (4L/s) bomba de paletas rotoray

Etapa de muestra

• El soporte de la muestra es una etapa giratoria y calentable hecha del calentador de cerámica con la cubierta de cobre
• Tamaño del portamuestras: 100 mm Dia. para. Oblea de 4" máx.
• Velocidad de rotación: 1 - 20 rpm ajustable para un recubrimiento uniforme
• La temperatura del soporte se controla mediante PID desde RT hasta 500 °C máx. con una precisión de +/- 1,0 °C
• Espacio libre: 15 ~ 65 mm entre la platina de muestra y el cabezal de plasma

• Se incluye un enfriador de agua digital con recirculación de temperatura controlada. (Haga clic en la imagen para ver los detalles)
• Rango de refrigeración: 5~35 °C
• Caudal 16 L/min
• Presión de la bomba: 14 psi

• Sistema de mezcla y suministro de gas de 2-9 canales disponible como opción ( fig. 1)
• Dispositivo de suministro de gas de vapor disponible a petición del cliente (fig. 2 y 3)
• Se dispone de software programable para recetas personalizadas basadas en el diseño del cliente
• Foto. 1Fig. 2Foto 3

Peso neto de la recubridora

• 160 kg

Dimensiones

Conformidad

• Aprobación CE
• La certificación NRTL (UL 1450) está disponible previa solicitud con un coste adicional

Garantía

• Un año de garantía limitada con asistencia de por vida

Vídeo de demostración del funcionamiento