Oblea de óxido térmico: 50 nm SiO2 Layer on Si (100), 2" dia x 0.30 mm t, N type , undoped, R>1000 ohm-cm

Capa de óxido térmico

• Grado de investigación , alrededor del 80 % de superficie útil
  
• Capa de SiO2 sobre oblea de silicio de 2
• Espesor de la capa de óxido: 50 nm ( 500A) +/-10
• Índice de refracción - 1.455

Especificaciones de la oblea de silicio:

• Tipo conductor: Tipo N/ No dopado
• Resistividad: >1000 ohm-cm
• Tamaño: 50,8 diámetro +/- 0,5 mm x 0,3 +/- 0,025 mm
• Orientación: (100) +/- ^1o
• Pulido: una cara pulida
• Rugosidad superficial, Ra: < 5A(RMS)

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