MTI  |  SKU: OTF1200XPELV5

Forno a tubo diviso PECVD da 5" (1200C max.) con stazione della pompa del vuoto - OTF-1200X-5L-PE

€0,00

Consegna e spedizione nell'UE

Nel preventivo aggiungeremo i costi di spedizione, assicurazione e sdoganamento.

Forno a tubo diviso PECVD da 5" (1200C max.) con stazione della pompa del vuoto - OTF-1200X-5L-PE

MTI

OTF-1200X-5L-PE è un PE-CVD (Deposizione di vapore chimico potenziata da plasma) sistema di forni a tuboche consiste in una sorgente di plasma RF da 300W, un forno a tubi di quarzo da 130ODx122ID, mm e una pompa a vuoto di alta qualità con una trappola fredda. Il forno PE-CVD è uno strumento ideale e conveniente per depositare film sottili o far crescere nanofili dallo stato gassoso (vapore) fino a wafer da 4 pollici.
(il numero di articolo è stato aggiornato da OTF-1200X-5L-I-PE da marzo 2019)

Specifiche tecniche

Forno a singola zona a 1200°C a tubo diviso
  • Max 1200ºC e per riscaldamento continuo a 1100ºC
  • Regolatori di temperatura digitali di precisione programmabili con 30 segmenti.
  • Zone di riscaldamento: 880 mm - Dimensioni del tubo di quarzo: 130 ODx122 IDx2000L mm
  • Potenza in ingresso: 208 - 240 V CA, monofase a max. 7KW.
  • Le flange sigillate sotto vuoto sono incluse per l'uso immediato. 
  • Opzionale:  forno a tre zone con zona di riscaldamento di 24". può essere sostituito con un costo aggiuntivo (fare clic sulla figura 2 per esaminare le specifiche).
  •                  
Potenza al plasma RF Supply
 
     
  • Potenza di uscita: 5 -300W regolabile con stabilità di ±1%.
  • Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità
  • Potere di riflessione: 200W max.
  • Corrispondenza: automatica
  • Porta di uscita RF: 50 ?, tipo N, femmina
  • Rumore: <50 dB. 
  • Raffreddamento: Raffreddamento ad aria.
  • Alimentazione: 208-240VAC, 50/60Hz
  • Nota: questo alimentatore RF può accettare tubi al quarzo da 50-80 mm max. cambiando la flangia.
Tubo di pressione 
  • Tubo al quarzo: 130 ODx122 IDx2000L mm (5 "x 79"). incluso. Fare clic sull'immagine 1 per ordinare il ricambio
  • Flangia per vuoto SS da 5" con valvola e porta per vuoto K25V inclusa.
  • Sulla flangia è installato un manometro anticorrosivo.
    • 3.8x10-5 a 1125 Torr campo di misura
    • Anti-corrosione, indipendente dal tipo di gas 
    • Elevata precisione e riproducibilità in atmosfera per un rilevamento affidabile della pressione atmosferica
    • Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo di processo
    • Forniamo un extra 24V 7Ah come alimentazione per il manometro, sufficiente per un'autonomia di 30-40 ore per carica.
                                    
  Pompa per vuoto e valvola
 
  • Pompa EQ-FYP è installata all'interno del carrello mobile per impieghi gravosi.
  • Una Trappola a freddo per il recupero dei condensabili è inclusa
  • L'adattatore KF25 e il tubo in acciaio inox sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo con una valvola a sfera di precisione per l'uso immediato da parte dell'utente.
  • Il vuoto di 10E-2 Torr può essere raggiunto all'interno del tubo di lavorazione.
  •      
Regolatore di temperatura
  • Certificato MET, 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza.
  • Funzione PID Auto-Tune integrata con protezione da surriscaldamento e termocoppia rotta.
  • Sovratemperatura temperatura e allarme consente il funzionamento senza operatore.
  • Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
  • Porta di comunicazione RS485.
    • Controllo avanzato della temperatura (Opzionale)
    • Il kit software di controllo della temperatura MTS02-Y (per i controllori della serie YD518P) + pacchetto laptop da 15" è disponibile nella barra delle opzioni. Fare clic per informazioni dettagliate sul kit software MTS02-Y. 
    • È possibile aggiornare il termoregolatore alla versione Controllore di temperatura Eurotherm 3504 che è completamente compatibile con LabVIEW. Questo pacchetto comprende un programmatore Eurotherm 3504, un cavo di comunicazione (RS485 - USB) e un CD del software. Fare clic sull'immagine sottostante per visualizzare le specifiche complete del termoregolatore Eurotherm 3504. 
  •             


Opzioni 		                 
Dimensioni
  • Forno: 1100 X 450 x 670 mm
  • Peso netto: 220 libbre
  • Peso di spedizione: 350 libbre
Garanzia 
 Garanzia limitata di un anno con supporto per il tempo di sollevamento (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).
Computer portatile, software e controllo WiFi (opzionale)
  • Laptop nuovo di zecca con Microsoft Window 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per l'uso immediato.
  • Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) consente all'utente di modificare il profilo di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
  • Il telecomando wireless offre un raggio d'azione fino a 300 metri.
  • Le funzioni di cui sopra sono disponibili su richiesta con un costo aggiuntivo (fino a 1.000 dollari). Contattateci per ulteriori informazioni.

  • Nota: 
    Il software è compatibile solo con il termoregolatore Yudian di MTI.

        


Conformità
  • Certificazione CE
  • Tutti i componenti elettrici (>24V) sono certificati UL / MET / CSA, escluso il sistema di miscelazione dei gas, il sistema di vuoto e il generatore di plasma.
  • Il forno è pronto per  pcertificazione TUV (UL61010) o CSA a pagamento. cliccare sui marchi sottostanti per conoscere i dettagli)
              
Istruzioni per il funzionamento
Torna all’inizio