Forno di crescita di cristalli per epitassia in fase liquida a 1100°C ad alta pressione (1,2 MPa) e sistema Glove Box - HP1100X-LPEGB

Struttura

• Forno di riscaldamento verticale a tre zone, temperatura massima: 1100°C
• Dotato di crogiolo in grafite di elevata purezza e portacampioni in grafite
• Il coperchio superiore della camera si apre automaticamente e si trova all'interno del vano portaoggetti per una comoda sostituzione del campione e del supporto
• L'interno della camera a guanti è dotato di una rastrelliera mobile automatica e di una porta automatica per l'ampia camera di trasferimento, che facilita la sostituzione e il posizionamento dei campioni.

Potenza

• AC monofase 220V 50/60HZ
• 6 kW Max.
  

Elemento riscaldante 

• Filo di resistenza

Temperatura di lavoro

• 1100ºC max. (< 1 ora)
• 1000ºC Lavoro continuo
• ≤10°C/min Velocità di riscaldamento consigliata

Zona di riscaldamento

• 150mm+200mm+150mm (tre zone di temperatura con controllo indipendente)
• Lunghezza della zona a temperatura costante: ≥ 170 mm 
  •  Uniformità della temperatura nella zona a temperatura costante:
    • 400-600°C ±3°C
    • 600-900°C ±0,5°C

Produzione

• Dimensione massima del substrato: ≤ 60*60 mm
• Numero di substrati per lotto: ≤ 3 pezzi
  
• Corsa del meccanismo di estrazione: 100 mm
• Gamma di velocità di estrazione: 0,05mm/h -10mm/h
• Gamma di velocità di rotazione dell'asta di estrazione: 1-10 giri/min 

Camera ad alta pressione

• Acciaio inossidabile SS304
• Dimensioni della camera: φ370mm (camera esterna)*φ350mm (camera interna)*1200mm
• Pressione massima: 1,2 MPa (≤700°C)
• Controllo della pressione costante in atmosfera fluida, precisione di controllo della pressione: ±1%.
• Ingresso del gas dotato di regolatore di flusso di massa, intervallo di misurazione del flusso in ingresso: 1000sccm
• Sensore di pressione installato sul coperchio superiore della camera per il monitoraggio in tempo reale delle variazioni di pressione interna
• Valvola di sicurezza elettromagnetica e valvola di sicurezza meccanica a doppia protezione (intervallo limite di pressione: ≤2MPa)
  
• Sollevamento e abbassamento automatico del coperchio superiore della camera per facilitare la sostituzione dei campioni e dei supporti in grafite

Sistema Glove Box

• Alimentazione: 220VAC, 50Hz, monofase
• Potenza: 2KW
• Materiale della camera: Acciaio inox 304
• Finestra in vetro di sicurezza temperato ad apertura anteriore e posteriore
• Dimensioni interne effettive: 1200*800*1200mm (L*L*H)
• Vassoio scorrevole per il materiale installato sulla parte superiore della camera dei guanti
• Interfacce: 4 interfacce KF40 sul lato posteriore del box
• 2 Anticamera : 
  • Dimensioni dell'anticamera di grandi dimensioni: Φ360 mm ID × 600 mm lunghezza
  • Dimensioni dell'anticamera piccola: Φ150mm ID × lunghezza 300mm 
  • Vassoio scorrevole installato all'interno della camera di trasferimento grande con porta automatica
• Livello di vuoto massimo: 100Pa
• Dimensioni del guanto in gomma butilica: Φ203mm × 813mm
• Gas di lavoro circolanti: N2, Ar, He
• Capacità di circolazione: 90m³/h
• Controllo PLC touchscreen per la rigenerazione automatica
• Gas di rigenerazione: Gas di lavoro miscelato con idrogeno (idrogeno 5%-10%)
• Equipaggiato di serie con una pompa meccanica a palette rotanti a doppio polo con velocità di pompaggio di 240 l/min, filtro per nebbie d'olio installato all'uscita della pompa
  

Sistema di controllo della temperatura e della pressione

• Sistema di controllo automatico della temperatura PID
• Precisione del controllo della temperatura: ±0,1°C
• Termocoppia: Tipo C
• Regolatori di zona a tre temperature indipendenti controllati da touchscreen
• Le curve di riscaldamento possono essere visualizzate, salvate ed esportate sul touchscreen
• La pressione può essere impostata sul touchscreen
• Visualizzazione in tempo reale della pressione interna della camera
• Pompa del vuoto e valvole del vuoto controllabili tramite il touchscreen

Sistema del vuoto

• Velocità di pompaggio: 6 L/S
• Pressione finale: 4*10-1Pa (senza carico, solo con pompa meccanica)
• Potenza nominale: 1500 W

Dimensioni

Peso

Note applicative

• Questa apparecchiatura può normalmente operare fino a 1000°C, con una pressione massima di 1,2MPa (in ambiente argon di elevata purezza). Si prega di non superare i limiti di temperatura o pressione durante il funzionamento.
• Non introdurre gas corrosivi come cloruri o solfuri, poiché potrebbero danneggiare i componenti.
• Poiché l'elemento riscaldante è un filo di resistenza, che si ossida facilmente ad alte temperature, è necessario introdurre solo argon di elevata purezza, azoto o altri gas inerti. Non introdurre ossigeno per evitare di danneggiare l'elemento riscaldante
• Aprire il coperchio superiore solo dopo che la temperatura del forno è tornata a quella ambiente. Il campione potrebbe essere ancora a temperatura elevataSi prega di essere prudenti e utilizzare guanti o altri strumenti per la manipolazione.